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雙螺桿泵由兩個平行的相互嚙合的轉子組成，這些轉子在機殼中旋轉，并加工成緊密的公差。三螺桿泵由一個帶有兩個嚙合惰輪的驅動轉子組成。轉子在加工成接近公差的殼部旋轉。流經螺桿泵的流量是軸向的，并沿動力轉子的方向。
當轉子旋轉時，包圍轉子的入口液壓油被捕獲。隨著轉子沿軸線的旋轉均勻地推動該流體，并迫使其流出另一端。螺桿泵輸送的流體不會旋轉，而是線性運動。轉子的工作方式就像的活塞，不斷向前移動。
即使在較高速度下也沒有脈動。由于沒有脈動，而且金屬與金屬之間沒有接觸，因此液壓柱塞泵運行比較安靜。大型泵用作大型壓力機上的低壓大容量預填充泵。其他應用包括潛水艇上的液壓系統以及需要控制噪音的其他液壓柱塞泵用途。
內齒輪泵具有一個內齒輪和一個外齒輪。由于這些泵的內齒輪齒數比外齒輪少一個或兩個，因此在這些設計中，內齒輪和外齒輪的相對轉速較低。例如，如果內齒輪和外齒輪的齒數分別為，則內齒輪將旋轉，而外齒輪將旋轉。這種較低的相對速度意味著較低的磨損率。
這些泵是小型緊湊的設備。新月形密封內齒輪泵由一個內齒輪和一個外齒輪組成，該齒輪由一個月牙形密封件隔開。
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